牛津仪器业务主要分为纳米分析设备、工业分析设备和服务三大部分，其产品包括沉积与刻蚀设备、光学成像设备、低温系统、电子显微镜、核磁共振设备等，可用于半导体、微电子、量子科技、光子学、锂电池、能源生产与储存等领域。

此前，牛津仪器曾与台工研院多次达成合作，在HBLED、MEMS、Micro LED、硅光子学、奈米分析等领域获得丰富成果。

据悉，原子层沉积（Atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处，该技术目前主要应用于半导体和纳米技术领域。

在第14届国际氮化物半导体会议 (ICNS 2023) 上，众多专家讲者强调了等离子原子层沉积技术在防护Micro LED生产损伤方面的优势，并证明了等离子体原子层沉积技术可显着提高Micro LED芯片的外部量子效率，因此原子层沉积技术是未来微型光发射器发展的关键。

牛津仪器表示，公司的低损伤等离子原子层沉积技术获得了市场关注。公司的等离子 ALD高K钝化解决方案，针对具有较小活性区域的Micro LED微芯片进行了优化，并且方案可将Micro LED外部量子效率翻倍。投产当天，粒量科技全自动化生产线已全面启动，正开足马力抓紧生产、全力赶制订单。据了解，该项目投产后预计今年可新增产值3亿元，全部投产后可新增产值7亿元，年纳税额达5000万元。

资料显示，坐落于福建省安溪县高端装备制造产业园区内，厂区建筑面积6万平方米，注册资本2亿元人民币。公司在LED芯片、封装、应用等测试全产业链领域拥有超过十五年的实际操作经验，还拥有先进水平的Mini/Micro LED封装产品生产设备。

粒量科技副总经理谢剑平表示，公司的产品主要应用于私人影院、广告屏、指挥中心等高档应用场景。公司的产品远销国内外市场，目前已受到广大客户的认同，公司目前也接到大量客户的订单，正在加紧生产。